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液晶・PDP・有機ELの材料技術
- Advanced Technology and Materials for LCD, PDP and OELD -

株式会社シーエムシー出版

★	2007年には7兆円を超えるとみられるフラットパネルディスプレイ市場！
★	成長を続ける構成部材・製造プロセス材料に関する最新技術動向を解説！
★	構成材料・ケミカルスの開発・製造に携わる技術者・研究者必携の決定版！
★	液晶／PDP／有機ELに共通して使われる材料・ケミカルスも詳細！

■ 監修	／岩井善弘（産能大学大学院MBAコース教授；経営学部教授）
■ 発行日	／2005年9月
■ 価格	／73,500円（本体70,000円＋税5％）
■ 体裁	／B5判・366ページ
■ ISBNコード	／ISBN：4-88231-528-9
■ Ｃコード	／C3054
■ 商品コード	／T0467

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刊行にあたって

著者一覧

第１章　総論

第２章　ガラス・プラスチック基板

第３章　プロセス材料

第４章　パネル作成材料

第５章　表示材料

第６章　光学フィルム

【刊行にあたって】

　成熟市場となったパソコン，急成長を遂げている携帯電話とデジタル情報家電，これらの商品に共通して使われ，2ケタ成長を続けているキーデバイスがフラットパネルディスプレイ（FPD）である。液晶，PDP，有機ELなどフラットパネルディスプレイの世界市場は，2004年に5兆円を超えたと見られる。さらに，本格的な薄型大画面テレビ時代の到来とともに，2007年には7兆円の市場が見込まれている。　フラットパネルディスプレイには，液晶ディスプレイ（LCD），プラズマディスプレイ（PDP），有機EL（OELD），フィールドエミッションディスプレイ（FED），電子ペーパー（Electric Paper）などの各種薄型パネル方式が技術開発を競っているが，これらのパネルの技術を支え，製造原価のかなりの部分を占めているのが，ガラス基板，カラーフィルタ，バックライト，駆動IC，光学フィルム，各種薬剤など部品・材料･ケミカルスである。

　大型TFT液晶ディスプレイをはじめ，韓国，台湾のアジア勢の成長で，日本のディスプレイ産業は押され気味とされているが，この部品・材料・ケミカルスの分野では，日本のシェアは，50−80％と依然高い。　本書は，ディスプレイの産業論やマーケッティング・企業動向に造詣の深い産能大学・岩井善弘教授に監修をお願いし，ご指導いただいた。各項目は部品・材料オリエンテッドに編集し，ガラス基板，カラーフィルタ，フォトマスクなど液晶，PDP，有機ELの一部またはすべてに共通な材料技術，要求特性，展望などを各分野の第一線でご活躍中の方々にご執筆いただいた。

　フラットパネルディスプレイおよび材料・ケミカルスに携わる方々に，本書が最新かつ貴重な情報をご提供できることを願う次第である。

2005年8月　シーエムシー出版　編集部

【著者一覧】


	岩井　善弘	産能大学　大学院MBAコース　教授兼経営学部　教授
	太田　淳	（株）アルバック　千葉超材料研究所　室長
	本松　徹	ジオマテック（株）　市場開発室　主事
	海上　暁	出光興産（株）　電子材料部　電子材料開発センター
	藤田　卓	松浪硝子工業（株）　光・電子材営業部　取締役部長
	大石　實雄	三菱ガス化学（株）　平塚研究所　主任研究員
	井原　浩史	HOYA（株）　マスク事業部　FPD製品部　事業推進課　マネジャー
	石川　裕三	（株）パーカーコーポレーション　化学品本部　化学品三部　化学品三課　副参事
	望月　英章	三菱化学（株）　EL薬品事業部　半導体材料研究所　チームリーダー
	吉田　勇喜	関東化学（株）　電子材料事業本部　技術部　EL薬品グループ開発課　主任
	榎本　久男	（株）パーカーコーポレーション　化学品三部　化学品開発課　課長
	雑村　史高	住友ベークライト（株）　工業樹脂研究所　研究部　主任研究員
	佐藤　弘章	日本合成化学工業（株）　中央研究所　機能材料研究室　課長
	小林　文明	綜研化学（株）　機能材部　開発グループ
	岡本　秀二	綜研化学（株）　機能材部　営業グループ　グループ長
	石川　誠	三菱化学（株）　EL薬品事業部　半導体材料研究所　所長
	高岡　誠一	日東電工（株）　エンジニアリングプラスチック事業部　開発部　技術開発課　主任研究員
	佐口　琢哉	ヘンケルジャパン（株）　インダストリアル事業本部
	†帖［†	ヘンケルジャパン（株）　インダストリアル事業部　テクニカルサービス
	往安　健一	ヘンケルジャパン（株）　TI技術サービスグループ　TIL技術グループ　スーパーバイザー
	川月　喜弘	兵庫県立大学大学院　工学研究科　物質系工学専攻　助教授
	小林　裕史	東レ（株）　液晶材料生産部　技術室　室長
	アンデス電気（株）	第２事業本部　オプトエレクトロニクス事業部
	椙尾　孝司	（株）スリーボンド　開発部　電気開発課
	仙田　愼嗣	ノリタケ機材（株）　技術部　グループリーダー
	帯谷　洋之	東京応化工業（株）　開発本部　先端材料開発三部　部長
	花畑　誠	（株）KRI　取締役，光機能材料研究部長
	堀江　賢一	（株）スリーボンド　研究所　研究部　研究企画課
	内堀　輝男	ダイニック（株）　開発技術センター　新規開発グループ
	高橋　尚光	双葉電子工業（株）　商品開発センター　テクニカルユニット　ユニットリーダー
	古山　晃一	（株）豊島製作所　マテリアルズシステム事業部　部長
	本林　秀文	（株）豊島製作所　マテリアルズシステム事業部
	諏訪　達弘	綜研化学（株）　加工製品部　開発グループ　主任研究員
	有福　征宏	日立化成工業（株）　実装フィルム事業部　実装フィルム開発部　研究員
	一ノ瀬　秀男	メルク（株）　液晶事業部　厚木テクニカルセンター　研究開発グループ　マネージャー代行
	楠本　哲生	大日本インキ化学工業（株）液晶材料技術本部　液晶材料合成グループ　グループマネージャー
	榎田　年男	東洋インキ製造（株）　色材事業本部　技術開発室　室長
	舟橋　正和	出光興産（株）　電子材料部　EL開発センター　シニアリサーチャー
	飛田　道昭	ヒロセエンジニアリング（株）　研究開発室
	石飛　達郎	ヒロセエンジニアリング（株）　研究開発室　主事
	枝連　一志	ヒロセエンジニアリング（株）　研究開発室　主事
	仲矢　忠雄	ヒロセエンジニアリング（株）　常務取締役；大阪市立大学名誉教授
	山本　理之	（株）ポラテクノ　第一技術部　チームリーダー
	西村　涼	新日本石油（株）研究開発本部　中央技術研究所　化学研究所情報化学材料グループ　チーフスタッフ
	森　裕行	富士写真フイルム（株）　フラットパネルディスプレイ材料研究所　研究担当部長
	岡村　友之	三井化学（株）研究開発部門　機能材料研究所　情報材料G　主席研究員　表示材料チームリーダー
	高橋　宏明	日立化成工業（株）　機能性フィルム開発部　専任研究員
	木村　育弘	日本油脂（株）　化成品研究所　AC2グループ　グループリーダー

【目次】

第１章　総論

岩井　善弘

１.　薄型電子ディスプレイの市場動向
1.1　はじめに―百花繚乱の薄型電子ディスプレイ― 　　1.2　薄型ディスプレイ市場概況と主要用途別概況　　　　1.2.1　全体市場動向　　　　1.2.2　LCD 　　　　1.2.3　PDP 　　　　1.2.4　有機EL 　　　　1.2.5　SED 　　　　1.2.6　面積ベースで見たディスプレイ市場　　1.3　LCD参入企業と生産・設備動向　　　　1.3.1　LCDの生産・投資動向　　　　1.3.2　主要企業別・世代別生産ライン　　1.4　PDP参入企業と有機EL参入企業（捕捉）シャープとサムスン電子の事業戦略

第２章　ガラス・プラスチック基板

１.　ITO膜付きガラス基板	太田　淳
1.1　はじめに　　　1.2　ITO膜の作製方法　　1.3　スパッタ法によるITO膜の形成技術　　1.4　低抵抗化技術（低電圧スパッタ法）　　1.5　液晶用ITO 　　1.6　CF，PDP用ITO 　　1.7　有機EL用ITO　　　1.8　おわりに

２.　ITO膜基板	本松　徹
2.1　ITO膜の特長　　2.2　ITO膜の成膜方法　　　　2.2.1　基板　　　　2.2.2　成膜方法　　　　2.2.3　スパッタリング成膜装置　　2.3　LCD用及び有機EL用ITO膜　　　　2.3.1　ガラス基板上ITO膜　　　　2.3.2　カラーフィルター上ITO膜　　　　2.3.3　樹脂基板上ITO膜　　2.4　開発課題とITO代替透明導電膜

３.　IZO膜付ガラス基板	海上　暁
3.1 はじめに　　　3.2 IZOターゲットの特徴　　3.3　IZO膜のエッチング特性　　　　3.3.1　エッチング速度　　　　3.3.2　高精細エッチング　　　　3.3.3　エッチング残渣　　　　3.3.4　アンダーカット　　　　3.3.5　電池反応

４.　液晶プロジェクター用ガラス材料	藤田　卓
4.1　はじめに　　　4.2　光学方式について　　4.3　反射鏡（Reflector）及び防爆ガラス（Explosion-proof glass）　　4.4　照明光学系　　4.5　偏光変換光学系　　　4.6　マイクロレンズアレイ　　4.7　液晶パネル　　　4.8　基板材料　　　4.9　まとめ


５.　高耐熱性フィルム〜ネオプリムL〜	大石　實雄
5.1　はじめに　　5.2　ネオプリムLの物性　　　　5.2.1　熱物性　　　　5.2.2　光学物性　　　　5.2.3　機械物性　　　　5.2.4　電気物性　　　　5.2.5　その他の物性　　5.3　まとめと今後の展望

第３章　プロセス材料

１.　ディスプレイ用フォトマスク	井原　浩史
1.1　はじめに　　　1.2　フォトマスクの種類　　1.3　フォトマスクの製造方法　　1.4　フォトマスクの大型化　　1.5　Multi Tone Mask 　　1.6　新製品開発への取り組み　　1.7　まとめ

２.　ガラス洗浄剤	石川　裕三
2.1　はじめに　　　2.2　開発ポリシー　　2.3　ラインアップ　　　2.4　ガラス洗浄剤　　　　2.4.1　ガラス洗浄剤の分類/成分　　　　2.4.2　汚れの種類　　　　2.4.3　洗浄機構　　　　2.4.4　洗浄剤と適用箇所　　2.5　配向膜剥離剤，フォトマスク洗浄剤，Rework洗浄剤　　2.6　おわりに

３.　高機能洗浄剤〜三菱化学〜	望月　英章
3.1　はじめに　　　3.2　微量汚染の吸着・脱離機構　　　　3.2.1　汚染の脱離　　　　3.2.2　汚染の再付着防止　　　　3.2.3　下地膜のエッチング　　3.3　最新ウェット洗浄技術　　　　　3.3.1　RCA代替洗浄（高清浄化と低コスト化の両立）　　　　3.3.2　枚葉化対応　　　　3.3.3　新材料対応　　　　3.3.4　ガラス基板洗浄　　3.4　おわりに

４.　FPD製造工程における薬品について	吉田　勇喜
4.1　はじめに　　　4.2　ガラス基板洗浄液　　　　4.2.1　「クレア635N」　　　　4.2.2　洗浄メカニズム　　　　4.2.3　洗浄特性　　　　4.2.4　発泡性評価　　　　4.2.5　「クレア635N」の特長　　4.3　各種エッチング液　　　　4.3.1　「ITO‐07N」　　　　4.3.2　「ITO‐07N」の特長　　4.4　有機EL関連薬品　　　　　4.4.1　有機EL材料洗浄液「OEL Clean」　　　　4.4.2　洗浄特性　　　　4.4.3　使用方法　　　　4.4.4　「OEL Clean」の特長　　4.5　まとめ

５.　フォトリソケミカル	榎本　久男
5.1　はじめに　　　5.2　水溶性EBR剤　　　　5.2.1　概要　　　　5.2.2　水溶性EBR剤の構成成分　　　　5.2.3　優位性　　5.3　現像液　　　　　5.3.1　現像液のレジスト濡れ性　　　　5.3.2　アルミニウム・銅対応現像液　　5.4　レジスト剥離液　　5.5　ガラス基板Rework用ケミカル　　　　5.5.1　概要　　　　5.5.2　CF剥離剤　　　　5.5.3　アルミニウム対応CF剥離剤　　5.6　まとめ

６.　フォトレジスト用フェノール樹脂	雑村　史高
6.1　緒言　　　6.2　DNQ-ノボラック樹脂系フォトレジスト　　6.3　フォトレジスト用フェノール樹脂　　　　6.3.1　仕込み時のメタパラ比率と樹脂特性の関係　　　　6.3.2　種々のフェノール，アルデヒド類の適用検討によるノボラック樹脂の改良　　6.4　LCD向けフォトレジスト用フェノール樹脂の要求特性・開発動向について　　　　6.4.1　低昇華物対応　　　　6.4.2　品質安定性　　　　6.4.3　塗布膜厚均一性　　6.5　フォトレジスト用フェノール樹脂の将来性　　6.6　まとめ

７.　ドライフィルムレジスト	佐藤　弘章
7.1　はじめに　　　7.2　PDPでのDFR使用工程　　7.3　DFRの構成　　　7.4　電極形成用DFRへの要求物性　　7.5　電極形成用DFRの該組成　　7.6　隔壁形成用DFRへの要求物性　　7.7　サンドブラスト用DFRの該組成　　7.8　液晶（LCDへの展開）　　　7.9　有機ELへの展開　　7.10　DFRの展望

８.　カラーフィルターレジストインキ用アクリルバインダー	小林　文明、岡本　秀二
8.1　レジストインキ用バインダー　　8.2　バインダーへの要求特性　　8.3　バインダー樹脂設計　　8.4　高耐熱・高透明性バインダー樹脂　　8.5　今後の開発傾向

９.　ウェットエッチング液〜三菱化学〜	石川　誠
9.1 概要　　　9.2 三菱化学が取り扱っているエッチング液全般　　9.3　Al材エッチング液（Mo材エッチング液）　　9.4　Au及びPd材エッチング液　　　9.5　Cu材エッチング液　　　9.6　Ti材エッチング液　　　9.7　おわりに

10.　LCD製造プロセス関連材料	高岡　誠一
10.1　はじめに　　10.2　ACF圧着用離型シート『アクファイン』　　10.3　吸着定盤用緩衝シート『サンマップ』　　10.4　おわりに

11.　フォトレジスト現像液・剥離液	佐口　琢哉
11.1　はじめに　　　11.2　フォトレジスト現像液　　11.3　フォトレジスト剥離液　　　11.4　おわりに

12.　表面処理剤	†帖［†
12.1　はじめに　　　12.2　FPD用ガラス基板洗浄剤について　　12.3　PDP関連の表面処理剤について　　　12.4　まとめ

13.　LCD製造用接着剤	往安　健一
13.1　はじめに　　13.2　LCD用接着剤　　　　13.2.1　セル組み立て用接着剤　　　　13.2.2　モジュール組み立て用接着剤　　13.3　まとめ

第４章　パネル作成材料

１.　配向膜	川月　喜弘
1.1　はじめに　　1.2　偏光による光反応と光反応性材料　　　　1.2.1　異方的な光反応と液晶の配向　　　　1.2.2　ティルト角形成　　　　1.2.3　光配向膜用高分子材料　　1.3　光架橋性高分子液晶フィルム上での低分子液晶の配向　　1.4　今後の展望

２.　カラーフィルタ	小林　裕史
2.1　はじめに　　2.2　カラーフィルタ技術　　2.3　透過表示の高画質・高機能化　　　　2.3.1　LCD透過表示性能向上のためのカラーフィルタ技術課題　　2.4　モバイル用途　反射表示、半透過LCDの高画質化・高機能化　　2.5　高精細化のための技術開発　　2.6　カラーフィルタのコストダウン技術

３.　液晶用カラーフィルター	アンデス電気（株）
3.1　はじめに　　3.2　カラーフィルターの製法の種類　　3.3　カラーフィルターへの要求特性　　　　3.3.1　色特性　　　　3.3.2　信頼性　　　　3.3.3　精度　　3.4　顔料分散法のプロセス　　　　3.4.1　BM工程について　　　　3.4.2　CF工程について　　　　3.4.3　OC工程について　　　　3.4.4　ITO成膜工程について　　3.5　おわりに

４.　LCDシール剤	椙尾　孝司
4.1　はじめに　　　4.2　樹脂材料　　4.3　シール剤の構成　　4.4　メインシール　　　4.5　エンドシール　　4.6　開発手法　　　4.7　おわりに

５.　PDPガラスペースト	仙田　愼嗣
5.1　はじめに　　5.2　前面誘電体（透明誘電体）用ガラスペースト　　　　5.2.1　形成方法　　　　5.2.2　無鉛化　　5.3　背面誘電体（ホワイトバック）用ペースト　　　　5.3.1　形成方法　　　　5.3.2　無鉛化　　5.4　リブペースト　　　　5.4.1　形成方法　　　　5.4.2　無鉛化　　5.5　まとめ

６.　PDPリブ形成方法	帯谷　洋之
6.1　概要　　　6.2　サンドブラストによるリブ形成　　6.3　フォトリブ法　　　6.4　エッチング法　　6.5　まとめ

７.　PDPリブ（隔壁）	花畑　誠
7.1　はじめに　　　7.2　リブ形成法　　7.3　感光性有機無機ハイブリッド材料による感光性ペースト法（基本原理）　　　　7.3.1　＜方法1＞無機成分にも感光性を付与する　　　　7.3.2　＜方法2＞表面難溶化層を形成し、「垂直現像」する　　　　7.3.3　＜方法3＞無機粒子の粒径を制御する　　7.4　感光性有機無機ハイブリッド材料によるPDPリブ形成例

８.　有機EL封止剤	堀江　賢一
8.1　はじめに　　8.2　シール材に求められる特性　　8.3　紫外線硬化性樹脂とは　　8.4　有機EL用シール剤　　8.5　有機EL用シール剤の今後の課題　　8.6　固体封止について　　8.7　まとめ

９.　有機EL用水分ゲッターシート	内堀　輝男
9.1　はじめに　　9.2　有機ELのダークスポットについて　　9.3　ダイニックの水分ゲッター材HGS 　　　　9.3.1　水分ゲッターの反応機構　　　　9.3.2　水分ゲッターシートの構造　　　　9.3.3　水分ゲッターシートの吸湿特性　　　　9.3.4　水分以外の劣化成分の除去　　　　9.3.5　酸素に対する特性　　　　9.3.6　ゲッターシートの厚さ　　　　9.3.7　水分ゲッターの供給形態　　9.4　今後の動向

10.　有機EL用透明薄膜捕水剤“OleDry®”の開発と今後の展望	高橋　尚光
10.1　はじめに　　10.2　液状透明薄膜捕水剤“OleDry®”の開発　　　　10.2.1　中心金属と捕水能力の関係　　　　10.2.2　中心金属Mと捕水能力の関係　　　　10.2.3　透明薄膜捕水剤“OleDry®”について　　10.3　OleDry®の使用方法　　　10.4　OleDry®の今後の展開　　　10.5　まとめ

11.　有機EL電極材料	古山　晃一、本林　秀文
11.1　電極材料の選択　　11.2　反射電極用Ag合金　　　　11.2.1　反射率　　　　11.2.2　電気抵抗率　　　　11.2.3　耐熱性　　　　11.2.4　耐オゾン性　　　　11.2.5　表面平滑性　　　　11.2.6　密着性

12.　基材レステープ	諏訪　達弘
12.1　基材レステープについて　　12.2　基材レスシートの用途と特徴　　12.3　おわりに

13.　異方導電フィルム	有福　征宏
13.1　はじめに　　13.2　ACFの構造と接続原理　　13.3　ACFの材料設計　　　13.4　金属微粒子の設計　　　　13.4.1　接合電極種による最適金属微粒子の選定　　　　13.4.2　狭ピッチ電極への対応　　13.5　ACFの接着剤設計　　　13.6　おわりに

第５章　表示材料

１.　液晶材料	一ノ瀬　秀男
1.1　はじめに　　1.2　LCDの各種モードに適した液晶材料　　　　1.2.1　IPS用液晶材料　　　　1.2.2　VA用液晶材料　　　　1.2.3　OCBモード用液晶材料　　　　1.2.4　モバイル用液晶材料　　1.3　まとめ

２.　液晶材料	楠本　哲生

３.　有機EL材料	榎田　年男
3.1　はじめに　　3.2　有機EL材料　　　　3.2.1　低分子正孔注入および輸送材料　　　　3.2.2　低分子発光材料　　　　3.2.3　低分子電子注入材料　　　　3.2.4　高分子材料　　3.3　現状と課題

４.　有機EL材料の開発現状	舟橋　正和
4.1　低分子有機EL材料の到達点　　4.2　当社での開発の現状　　　　4.2.1　正孔材料の改良　　　　4.2.2　青色ホスト材料の改良　　　　4.2.3　フルカラー用純青色材料　　4.3　緑色発光材料の開発　　4.4　まとめ

５.　高分子有機EL材料の研究開発	飛田　道昭、石飛　達郎、枝連　一志、仲矢　忠雄
5.1　はじめに　　5.2　非共役系高分子　　　　5.2.1　ポリイミド　　　　5.2.2　ポリマー架橋　　　　5.2.3　ポリビニルカルバゾール誘導体　　　　5.2.4　超共役系高分子　　5.3　共役系高分子　　　　5.3.1　ポリフェニレンビニレン　　　　5.3.2　ポリフルオレン　　　　5.3.3　新規白色発光主鎖型共役系高分子　　5.4　おわりに

第６章　光学フィルム

１.　染料系偏光フィルム	山本　理之
1.1　はじめに　　1.2　染料系偏光フィルムの特長　　1.3　染料系偏光フィルムの作製方法　　1.4　染料系偏光フィルムに求められる特性　　　　1.4.1　高透過率、高偏光度　　　　1.4.2　ペーパーホワイト　　　　1.4.3　高耐久性　　1.5　染料系偏光フィルムにおける今後の開発方向　　1.6　おわりに

２.　新世代位相差フィルム　「日石LCフィルム」シリーズ	西村　涼
2.1　はじめに　　2.2　高分子液晶フィルム「日石LCフィルム」シリーズ　　2.3　棒状液晶によって実現できる位相差フィルムの種類　　2.4　まとめ

３.　光学補償フィルム：WVフィルム	森　裕行
3.1　はじめに　　3.2　視野角拡大の考え方　　　3.3　TN-WV 　　　　3.3.1　TN-WVの構造　　　　3.3.2　光学性能　　3.4　OCB（Optically　Compensated　Bend）　　　　3.4.1　OCB-WVフィルム　　　　3.4.2　光学性能　　　　3.4.3　新規開発技術　　3.5　配向技術　　　　　3.5.1　PDM層配向技術　　　　3.5.2　タックフィルム配向技術　　3.6　薄型WVフィルム　　3.7　まとめ

４.　PDP光学フィルタ	岡村　友之
4.1　はじめに　　4.2　PDP光学フィルタの基本機能と各技術　　　　4.2.1　前面保護機能　　　　4.2.2　電磁波シールド能と近赤外線カット能　　　　4.2.3　導電層種別のPDP光学フィルタのタイプ　　　　4.2.4　画質向上機能　　4.3　パネル直貼り用・フィルムタイプフィルタ

５.　PDP電磁波シールドフィルム	高橋　宏明
5.1　はじめに　　5.2　透明電磁波シールドフィルムの開発　　5.3　ESシリーズの構造、特性　　5.4　電磁波シールド性能　　5.5　透明化方法の改良　　5.6　今後の開発方針

６.　反射防止フィルム	木村　育弘
6.1　はじめに　　6.2　フィルムへの反射防止処理　　6.3　反射防止フィルム「ReaLook®（リアルック®）」　　6.4　光学特性および物理物性　　6.5　付加機能　　　6.6　信頼性　　6.7　その他機能との複合化　　6.8　PDP以外への展開　　6.9　おわりに

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