| 【目次】 |
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| 序論 アクチュエータ概論 |
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| 1. 未来型アクチュエータの開発と材料 |
樋口俊郎 |
1.1 はじめに
1.2 近年のアクチュエータ研究の動向と特徴
1.2.1 圧電素子の利用の拡大
1.2.2 ナノメータの操作
1.2.3 マイクロ化への挑戦
1.2.4 アクチュエータの薄型化
1.2.5 特殊環境用アクチュエータ
1.2.6 人工筋肉
1.3 アクチュエータの研究開発の方法
1.3.1 未来型アクチュエータの考察
1.3.2 製造法と使用法の研究
1.3.3 標準化と試験法の確立 |
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| 2. アクチュエータ技術概論 |
古屋泰文 |
2.1 新しいアクチュエータの必要性
2.2 アクチュエータの分類と特性
2.3 アクチュエータ材料
2.3.1 はじめに
2.3.2 アクチュエータ材料
2.3.3 センサ技術
2.3.4 知的材料・構造システム開発への潮流
2.3.5 研究開発体制 |
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| 第1章 アクチュエータ材料の基礎 |
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| 1. その作動原理・材料の基本設計 |
古屋泰文 |
1.1 アクチュエータ材料の分類および機能発現原理
1.2 固体アクチュエータ・センサ材料の研究開発
1.3 溶解・加工プロセス法による事例
1.4 固相焼結プロセスの事例
1.5 複合機能化アクチュエータ材料・デバイス化への研究発展 |
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| 2. 作製プロセス化技術 |
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| 2.1 バルク材料−単結晶 |
古屋泰文 |
2.1.1 はじめに(結晶とその分類)
2.1.2 結晶異方性
2.1.3 単結晶・粗大結晶作製プロセス
2.1.4 おわりに |
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| 2.2 バルク材料−多結晶、非晶質 |
古屋泰文 |
2.2.1 はじめに
2.2.2 非晶質金属ガラス材料
2.2.3 おわりに |
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| 2.3 材料加工プロセス概論 |
古屋泰文 |
2.3.1 材料製造技術の分類と特徴
2.3.2 機能性材料開発への材料加工プロセス法
2.3.3 加工品の寸法精度
2.3.4 材料加工における技術的課題
2.3.5 まとめ |
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| 2.4 多結晶制御と機能特性発現 |
安田弘行、馬越佑吉 |
2.4.1 はじめに
2.4.2 Fe-Pd合金における巨大磁歪
2.4.3 結晶方位分布
2.4.4 結晶粒界性格とマルテンサイト変態
2.4.5 磁歪の結晶粒径依存性
2.4.6 結晶組織制御技術
2.4.7 おわりに |
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| 2.5 バルク材料−セラミックス |
和田智志 |
2.5.1 アクチュエータ材料としてのセラミックス
2.5.2 圧電セラミックスの内部構造による分類と分極による対称性の変化
2.5.3 圧電セラミックスの化学組成による分類とMPBの有効利用
2.5.4 セラミックスプロセス技術の概要
2.5.5 粉体合成プロセス技術
2.5.6 バルク体成形プロセス技術
2.5.7 焼結プロセス技術
2.5.8 分極プロセス技術
2.5.9 今後の圧電セラミックスの動向
2.5.10 まとめ |
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| 2.6 薄膜化プロセス |
増本博 |
2.6.1 はじめに
2.6.2 圧電体薄膜の作製法
2.6.3 圧電アクチュエータとイオン伝導体を用いた機能協調設計
2.6.4 おわりに |
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| 第2章 金属系バルクアクチュエータ材料技術の基盤技術 |
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| 1. 形状記憶材料 |
金熙榮、宮崎修一 |
1.1 はじめに
1.2 形状記憶合金の作動原理
1.3 材料設計
1.4 作製プロセス
1.5 最新技術と応用展望
1.5.1 形状記憶合金薄膜
1.5.2 高温形状記憶合金
1.5.3 磁場駆動形状記憶合金
1.6 おわりに |
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| 2. 磁歪材料(作動原理、作製プロセスおよび最新技術) |
岡崎禎子、岡西紀昌、古屋泰文 |
2.1 はじめに
2.2 磁歪のメカニズム(タイプI、タイプII)
2.3 急冷凝固法によるリボン材の作製
2.4 低温放電プラズマ焼結法:Fe-Gaバルクの磁歪
2.5 片持ち梁型バイモルフ磁歪アクチュエータ・センサ |
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| 第3章 セラミックス系バルクアクチュエータ材料の基盤技術 |
| 1. 圧電・電歪材料 |
和田智志 |
1.1 圧電・電歪材料
1.2 アクチュエータへの応用
1.3 ドメインエンジニアリングの分類
1.4 巨大圧電特性に対するエンジニアード・ドメイン構造の効果
1.5 ドメイン壁近傍領域からの圧電特性への寄与
1.6 ドメイン壁エンジニアリングによる到達点
1.7 まとめ |
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| 2. ファイバ型 |
佐藤宏司 |
2.1 序章
2.2 金属コア入り圧電ファイバの作製
2.3 スマートボードのセンサ・アクチュエータ特性
2.4 まとめ |
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| 第4章 薄膜型アクチュエータ材料化技術 |
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| 1. 形状記憶材料系 |
石田章、佐藤守夫 |
1.1 形状記憶合金薄膜の開発の背景
1.2 形状記憶合金薄膜の作製方法
1.3 薄膜の形状記憶特性と機械的特性
1.4 形状記憶合金薄膜アクチュエータとデバイスへの応用
1.5 形状記憶合金薄膜アクチュエータの将来展望 |
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| 2. 磁歪材料(原理と材料設計) |
内田裕久、松村義人 |
2.1 磁歪材料
2.1.1 磁歪現象とその特徴
2.1.2 まとめ
2.2 超磁歪材料
2.2.1 バルク超磁歪材料
2.2.2 薄膜化磁歪材料
2.2.3 まとめ
2.3 磁歪材料の作製プロセス
2.3.1 バルク材料
2.3.2 薄膜材料
2.3.3 まとめ
2.4 磁歪デバイスの応用
2.4.1 バルク磁歪材料
2.4.2 利用原理
2.4.3 薄膜化磁歪材料
2.4.4 まとめ |
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| 3. 圧電材料系 |
飯島高志 |
3.1 はじめに
3.2 化学溶液法を用いたPZT膜の作製
3.3 PZT膜の微細加工
3.4 PZT膜の圧電特性評価
3.5 PZT膜デバイスの作製
3.6 おわりに |
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| 第5章 新アクチュエータ材料技術 |
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| 1. マルチフェロイクスの材料科学とデバイス化研究 |
| Ichiro Takeuchi、Manfred Wutti、久保田健、岡崎禎子、古屋泰文 |
1.1 はじめに
1.2 バルク単体型アクチュエータ材料
1.3 薄膜型アクチュエータ/センサ材の開発
1.4 先進的マルチフェロイック材料・デバイス
1.4.1 ナノ構造設計からの新展開
1.4.2 バルク複合材料型設計
1.5 応用展開と課題 |
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| 2. 新しい金属系マルチフェロイック材料−メタ磁性形状記憶合金− |
| 貝沼亮介、伊東航、須藤祐司、及川勝成、石田清仁 |
2.1 はじめに
2.2 Ni-Mn-In基ホイスラー合金
2.3 メタ磁性形状記憶効果
2.4 おわりに |
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| 3. 新鉄基磁歪合金 |
斉藤千尋 |
3.1 はじめに
3.2 Fe-Ga合金に関するこれまでの知見
3.2.1 大磁歪の起源
3.2.2 多結晶Fe-Ga合金の研究事例
3.3 今後の展開 |
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| 4. 薄膜化マルチフェロイクス材料の研究 |
飯島高志 |
4.1 はじめに
4.2 マルチフェロイクス材料
4.3 NiTi/PZT積層薄膜型マルチフェロイクス材料
4.4 おわりに |
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| 5. 水素吸蔵合金アクチュエータの研究 |
| 西義武、内田晴久、小笠原崇、沼崎謙一 |
5.1 はじめに
5.2 水素吸蔵合金アクチュエータ
5.2.1 アクチュエータ
5.2.2 LaNi5水素吸蔵合金水素吸蔵合金
5.2.3 ユニモルフ構造
5.3 触媒処理による応答性の向上
5.4 応用展開
5.4.1 大変位アクチュエータ
5.4.2 電流制御
5.4.3 医療用ソフトアクチュエータ
5.5 実用化のための課題と問題点
5.5.1 現状における問題点
5.5.2 改善提案
5.6 おわりに |
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| 第6章 マルチフェロイクス複合材料の研究開発 |
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| 1. 知能(スマート)化技術(イントロダクション) |
古屋泰文 |
1.1 はじめに(知能化技術とはなにか)
1.2 知的材料システムの工学的意義
1.3 知的(スマート)複合材料システムの設計・開発
1.3.1 知的複合材料システムの設計と意義
1.3.2 形状記憶合金強化複合材料システム
1.3.3 形状記憶合金強化複合材料システム
1.4 おわりに |
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| 2. 強磁性形状記憶合金ならびに強磁性/形状記憶合金複合材料における材料設計とアクチュエータ設計 |
| 和田大志 |
2.1 強磁性形状記憶合金FePdの性質と材料設計
2.2 強磁性/形状記憶合金複合材料の材料設計
2.3 ばね型アクチュエータ
2.4 回転型アクチュエータ |
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| 3. スマート化技術(I:知的材料システム) |
浅沼博 |
3.1 はじめに
3.2 AMS創製のための新設計論
3.3 AMSの一例
3.4 アクティブラミネートの特性
3.5 各種デモンストレータの試作
3.6 おわりに |
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| 4. スマート化技術(II:ヘルスモニタリング) |
古屋泰文、今大健 |
4.1 はじめに(センサ技術の発展)
4.2 構造健全性評価技術(ストラクチャヘルスモニタリング)
4.3 米国でのSMART LAYER技術紹介(Stanford大学)
4.4 多機能型SAWセンサデバイス設計・開発
4.4.1 SAWセンサの原理
4.4.2 米国での研究事例
4.4.3 多機能型SAWセンサ設計と試作、その特性
4.5 おわりに |
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| 5. 安心・安全化技術の進展(I:センサー材料システム) |
岸本哲 |
5.1 はじめに
5.2 研究動向
5.3 今後の展開
5.4 おわりに |
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| 6. 安心・安全化技術の進展(II:非破壊評価) |
榎学 |
6.1 緒言
6.2 応力記憶センサの原理
6.2.1 繰り返し回数推定
6.2.2 応力振幅推定
6.2.3 最大応力推定
6.3 応力記憶センサ特性評価
6.3.1 試料
6.3.2 疲労試験
6.3.3 AE計測
6.3.4 結果および考察
6.4 まとめ |
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| 第7章 ポリマー系アクチュエータ |
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| 1. 高分子ゲルアクチュエータ |
安積欣志 |
1.1 はじめに
1.2 イオン導電性高分子アクチュエータの構成と材料
1.3 作製法
1.4 応答モデル
1.5 実験解析法
1.6 応用研究例 |
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| 2. 高分子系ソフトアクチュエータ |
平井利博、高崎緑 |
2.1 はじめに
2.2 高分子系ソフトアクチュエータ材料の分類
2.3 膨潤収縮しない高分子ソフトアクチュエータ
2.4 柔らかさの由来と多様な駆動の原理との関係
2.4.1 柔軟性を付与している媒質の移動を伴う駆動
2.4.2 媒質の移動によらずマトリックス高分子の移動による駆動
2.4.3 媒質の共存しないソフト高分子の駆動
2.5 おわりに |
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| 第8章 流体系アクチュエータ技術 |
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| 1. 磁性流体マイクロアクチュエータ |
須藤誠一 |
1.1 はじめに
1.2 磁性流体マイクロアクチュエータの駆動原理
1.2.1 磁性流体マイクロモータの構成と駆動原理
1.2.2 磁性流体マイクロレシプロケータの駆動原理
1.3 磁性流体マイクロモータの回転特性
1.4 磁性流体マイクロレシプロケータの周波数特性
1.5 おわりに |
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| 2. MR流体アクチュエータ |
中野政身 |
2.1 はじめに
2.2 MR流体のレオロジー特性と電気・力変換機構
2.2.1 機能発現機構とレオロジー特性
2.2.2 電気・力変換機構
2.3 MR流体のスマートアクチュエータへの応用
2.3.1 MR流体を用いた減衰力可変ダンパとセミアクティブ除振制御
2.3.2 MR流体コンポジットブレーキを用いたコイル巻線用張力制御
2.3.3 MR流体を活用したモーター用電磁ブレーキ
2.3.4 その他のMR流体の応用例
2.4 おわりに |
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| 3. ER流体とECF |
横田眞一 |
3.1 まえがき
3.2 電気粘性流体ERF
3.2.1 粒子分散系ERF
3.2.2 均一系ERF
3.2.3 ERFのアクチュエータへの応用
2.2.4 粒子分散系ERFアクチュエータ
3.2.5 均一系ERFアクチュエータ
3.3 電界共役流体ECF
3.3.1 ジェットを回転に利用(ECFマイクロモータ)
3.3.2 ジェットによる圧力をソフトアクチュエータ駆動に利用
3.3.3 ジェットを冷却に利用(極薄平面ポンプ)
3.4 あとがき |
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| 第9章 アクチュエータ・デバイス化技術の新展開 |
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| 1. 圧電素子を利用した位置決め機構 |
樋口俊郎 |
1.1 圧電素子
1.2 圧電アクチュエータの方式
1.3 変位拡大機構
1.4 インチワーム機構
1.5 Walking Drive機構
1.6 インパクトドライブ機構(IDM)
1.6.1 細胞操作用マニピュレータ
1.6.2 マイクロ放電加工機
1.6.3 回転機構
1.6.4 STM探針駆動機構 |
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| 2. 超音波モータ |
前野隆司 |
2.1 はじめに
2.2 特徴と駆動原理
2.3 応用例
2.4 おわりに |
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| 3. 弾性表面波モータ |
黒澤実 |
3.1 はじめに
3.2 弾性表面波デバイスと原理
3.2.1 レイリー波の利用
3.2.2 デバイス材料
3.2.3 作製プロセスとデバイス
3.2.4 極微小な振動振幅
3.3 これまでに実現された諸特性
3.3.1 速度と推力
3.3.2 微小送り
3.3.3 効率改善
3.3.4 マイクロ化・多次元化
3.4 海外での動き
3.5 おわりに |
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| 4. 圧電アクチュエータSIDMの原理とその応用 |
吉田龍一 |
4.1 はじめに
4.2 駆動原理
4.3 SIDMの高速化と必要な電圧波形
4.4 駆動回路
4.5 SIDMの試作ユニットと性能
4.6 SIDMの応用
4.6.1 携帯電話用カメラAF用アクチュエータ
4.6.2 デジタルカメラ手振れ補正用アクチュエータ
4.6.3 光ディスク収差補正用アクチュエータ
4.6.4 位置決め用精密ステージ
4.7 おわりに |
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| 5. 水熱合成法圧電膜を利用したマイクロモータ |
森田剛 |
5.1 はじめに
5.2 構造と原理
5.3 水熱合成法を用いたPZT薄膜の合成
5.4 PZT薄膜を用いた円筒型超音波モータ
5.5 さらなる小型化へ
5.6 まとめと今後の課題 |
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| 6. 形状記憶合金アクチュエータ |
本間大 |
6.1 形状記憶効果と形状記憶合金
6.2 形状記憶合金アクチュエータの動作原理
6.3 形状記憶合金アクチュエータの形式と構造
6.4 通電加熱駆動と制御
6.5 おわりに |
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| 7. 超磁歪アクチュエータ |
江田弘、尾嶌裕隆 |
7.1 はじめに
7.2 超磁歪
7.3 TERFENOL-Dセンサーモデル
7.3.1 補助方程式とモデリング
7.3.2 非線形モデリングの手法
7.3.3 非線形TERFENOL-D材料モデル
7.3.4 透磁率の変化
7.4 応用事例 |
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| 第10章 産業界としての要求 |
今泉伸夫 |
| 1. はじめに |
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| 2. シーズとニーズの狭間 |
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| 3. マイクロブラシレスモータの課題 |
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| 4. 直径2mm(Ø2)ブラシレスモータ用肉薄円筒磁石 |
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| 5. 金属ガラスを用いた減速ギアと細径ブラシレスギヤードモータ |
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| 6. おわりに |
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| 第11章 未来型アクチュエータ材料・デバイス研究開発への視点 |
| 古屋泰文、樋口俊郎 |
| 1. はじめに |
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| 2. 材料側研究(現状と新展開) |
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2.1 アクチュエータ材料・デバイス研究開発への設計視点
2.2 事例分析および新展開
2.3 マルチフェロイクス材料・デバイス研究の現状と展開
2.4 知的材料システム・デバイスへの研究展開
2.5 材料製造プロセス・加工および評価技術の重要性 |
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| 3. 未来型アクチュエータ設計・システム開発事例 |
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| 4. 企業実用化開発への課題 |
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| 5. おわりに |
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