タッチパネル・太陽電池・有機ＥＬ照明・電子ペーパーへの応用

透明導電膜・フィルムの高透明・低抵抗化と耐久性向上

• トレードオフである高透明性と高導電性を両立する！そのためのITO、ITO代替材料における材料設計のポイントとは？
• デバイスメーカーが現場で求める実際の要求特性とは？ 各用途に応じてわかりやすく解説！
• 「本当に求められる特性」を満たせるデバイスメーカーからの信頼性の高い試験・評価事例！！

税込価格	88,200円 （本体：84,000 円）	出版社	株式会社 技術情報協会
発刊日	2010年09月末	体裁	B5判　約450ページ　上製本

■ ＩＴＯ透明導電膜の更なる高機能化への対応は？

◎屈曲性を向上させるＩＴＯ膜中の構造制御設計とは？
◎ＰＣ、ＰＥＴ、、、各種ベース基材への導電膜の成膜方法は？
◎透過率・書味・入力特性向上へ向けた導電膜質のポイント
◎大面積成膜・低コスト化を実現する塗布型ＩＴＯ膜とは？
◎ＩＴＯナノ粒子を用いたＩＴＯフィルムのフレキシブル化

■ ＩＴＯ代替透明導膜を実用レベルにするには？

◎各種ＩＴＯ代替材料の透明性と導電性を両立するには？
◎耐環境性の大幅な改善を実現したバインダー材料とは？
◎有機材料の経時劣化メカニズムと耐久性向上への工夫
◎導電性高分子の可溶化のポイントとフィルム／シート化技術
◎電気伝導度改善に向けた導電性塗液組成の最適化

■ フィルム化

◎無機材と樹脂材の密着性向上
◎ガラス成膜での歪み対策
◎プラスチックへの低温成膜時の温度コントロール

■ ＋α多機能性付与

◎各種フィルム（ＨＣ・ＡＲ・ＡＧ・ＡＦ・色調補正フィルムなど）との組み合わせとその効果は？
◎トレードオフの特性（高導電性⇔高透明性など）の両立への機能複合化設計

■ ＋α高機能化

◎フレキシブルデバイスに対応するための屈曲性向上技術
◎マルチタッチ化に対応するパターニング手法とは？
◎３０年持つ太陽電池に向けた透明電極材料の耐久性向上技術

■ フィルムへの要求特性

◎高透明・高導電・機械特性・耐環境性・フレキシブル性・寸法安定性・低コスト化に向けた材料設計ノウハウ
◎成膜しやすいベースフィルム設計のポイントは？

■ 製品評価項目

◎耐屈曲性・筆記耐久性・打鍵耐久性・耐環境性・表面平坦性など、デバイス用途に応じた豊富なデータを収録！

※敬称略

稲守 忠広

尾池工業（株）

保住 敏之

尾池工業（株）

中島 義浩

尾池工業（株）

井上 雅裕

尾池工業（株）

野田 和裕

グンゼ（株）

鈴木 優

ＳＫＣハース・ディスプレイフィルムズ・ジャパン（株）

疋田 真也

日油（株）

小川 倉一

三容真空工業（株）

福井 俊巳

（株）ＫＲＩ

杉山 征人

＜専＞ＹＩＣ京都工科大学校【元 帝人、元 尾池工業】

大城 研二

関東化学（株）

村口 良

日揮触媒化成（株）

中許 昌美

（地独）大阪市立工業研究所

村松 淳司

東北大学

蟹江 澄志

東北大学

佐々木 隆史

東北大学

遠藤 瑶輔

東北大学

南 内嗣

金沢工業大学

吉野 賢二

宮崎大学

久慈 俊郎

東海大学

赤木 和夫

京都大学

鄭 龍洙

京都大学

小長谷 重次

名古屋大学【元 東洋紡績】

厳 虎

山梨大学

城 俊彦

山梨大学

奥崎 秀典

山梨大学

藤田 貴史

ナガセケムテックス（株）

黒田 憲寛

出光興産（株）

浅井 真人

帝人デュポンフィルム（株）

武久 慶太

帝人デュポンフィルム（株）

宗像 伸枝

帝人デュポンフィルム（株）

星野 勝義

千葉大学

長岡 利典

長岡産業（株）

上拾石 成夫

長岡産業（株）

田口 敏樹

富士フイルム（株）

白鳥 世明

慶応義塾大学

藤本 幸司

慶応義塾大学

若林 淳美

住友大阪セメント（株）

柿沼 孝一郎

バイエル マテリアル サイエンス（株）【元 ソニー】

角田 裕三

（有）スミタ化学技術研究所

上野 啓司

埼玉大学

中西 朗

パナソニック エレクトロニック デバイス（株）

黒沢 理

東プレ（株）

西 昭次

（株）ミクロ技術研究所

吉田 明

（株）ミクロ技術研究所

豊島 安健

（独）産業技術総合研究所

尾山 卓司

旭硝子（株）

櫛屋 勝巳

昭和シェル石油（株）

広光 一郎

島根大学

宮坂 力

桐蔭横浜大学

山下 俊一

ＮＥＣインフロンティア（株）

谷 佳洋

（株）タッチパネル研究所

板倉 義雄

（株）タッチパネル研究所【元 帝人】

第１章 ＩＴＯ透明導電膜の材料設計と高機能化のポイント

• 第１節　ＩＴＯ透明導電性フィルム

• ［１］ タッチパネル用透明導電性フィルムの最新動向

• ★透明導電性フィルムの高機能・高品質化に向けた製造プロセスの最適化！！
• 1．タッチパネルの用途
• 2．タッチパネルの方式
• 3．抵抗膜方式タッチパネル
• 3-1．構造
• 3-2．動作原理
• 4．タッチパネル用透明導電性フィルム
• 4-1．透明導電性フィルムの開発の歴史
• 4-2．透明導電性フィルムの種類と特徴
• 4-2-1．界面活性剤系透明導電性フィルム
• 4-2-2．導電性フィラー系透明導電性フィルム
• 4-2-3．金属薄膜系透明導電性フィルム
• 4-2-4．半導体薄膜系透明導電性フィルム
• (1)酸化インジウム系
• (2)酸化スズ系
• (3)酸化亜鉛系
• (4)酸化スズカドミウム（ＣＴＯ）膜
• (5)ヨウ化銅系
• (6)その他
• 4-3．多層膜系透明導電性フィルム
• 4-4．透明導電性フィルムの製造プロセス
• 4-4-1．ＩＴＯ膜の形成
• 4-4-2．ハードコートの形成
• (1)ハードコート塗料
• (2)ＲｏｌｌｔｏＲｏｌｌウェットコーティング加工プロセス
• 5．おわりに

• ［２］ タッチパネル用透明導電性フィルムの作製

• ★ＩＴＯ膜の結晶性や電気特性に対するデガス制御の重要性とは！？
• ガラス基板とプラスチック基板での成膜時のデータを徹底比較！！
• 1．スパッタリング装置の構成
• 2．作製手順
• 2-1．デガス工程
• 2-2．ＩＴＯ膜の作製
• 2-3．ＩＴＯ膜の評価
• 3．実験結果ならびに考察
• 3-1．ＱＭＳイオン電流
• 3-2．堆積厚み
• 3-3．電気的特性
• 3-3-1．キャリヤ密度
• 3-3-2．Ｈａｌｌ移動度
• (1)移動度変化のメカニズムについて
• (2)Ｏ２流量比が０．０５以下領域での挙動
• (3)粒界ポテンシャル
• (4)Ｘ線回折の測定結果
• (5)無機ガラス基板との比較
• 4．まとめ

• ［３］ ＩＴＯフィルムの諸特性と高性能化への展望

• ★低価格・高透過率・高信頼性を実現する材料設計のポイントとは？
• 1．はじめに
• 2．透明導電膜の光学特性
• 3．表面抵抗特性
• 4．まとめ

• ［４］ タッチパネル用途などにおける表面フィルムの技術動向

• ★ハードコート性と耐指紋性の両立と＋αの機能を持たせる複合化技術！！
• 1．反射防止フィルム「リアルック」
• 1-1．構成
• 1-2．基本物性
• 2．書味向上フィルム「ペンフィット」
• 2-1．構成
• 2-2．基本性能
• 3．耐指紋性フィルム「クリアタッチ」
• 3-1．構成
• 3-2．基本性能
• 4．おわりに

• 第２節　ＩＴＯ膜加工・プロセス

• ［１］ 低温プロセスによる高性能ＩＴＯ薄膜形成技術

• ★低温プロセスにおける薄膜の低抵抗化のポイントとは？
• 1．はじめに
• 2．透明導電膜材料と薄膜作製法
• 2-1．透明導電膜材料
• 2-2．透明導電薄膜作製方法
• 3．低温プロセスによるＩＴＯ薄膜作製例と諸特性
• 3-1．低電圧化マグネトロンスパッタ法によるＩＴＯ薄膜の作製例
• 3-2．運動エネルギー制御スパッタリング（ＫＥＣＤ）によるＩＴＯ薄膜
• 3-3．ＭＨＶスパッタ法によるＩＴＯ薄膜
• 3-4．低エネルギーイオンプレーティングによるＩＴＯ薄膜
• 3-5．パルスレーザーディポジション（ＰＬＤ）法によるＩＴＯ薄膜
• 3-6．低温プロセスによるＩＴＯ薄膜の比較
• 4．今後の課題とまとめ

• ［２］ ゾル‐ゲル法によるＩＴＯ透明導電膜の低温形成技術

• ★ＩＴＯ膜中の構造制御によるプロセス技術の改善法とは？
• 1．はじめに
• 2．ゾル‐ゲル法によるＩＴＯ膜の形成
• 2-1．ゾル‐ゲル法とは
• 2-2．ＩＴＯ膜の形成
• 2-2-1．各種出発原料を用いたＩＴＯ膜形成
• 2-2-2．化学組成の影響
• 2-2-3．ゾル‐ゲルＩＴＯ膜の微細構造制御
• 2-3．ゾル‐ゲル法によるＩＴＯ膜の低温形成の可能性
• 3．光アシストゾル‐ゲル法による透明導電膜の室温形成
• 3-1．光アシストゾル‐ゲル法とは
• 3-2．光アシストゾル‐ゲル法によるＩＴＯ膜の室温形成
• 3-2-1．結晶化挙動
• 3-2-2．電気特性
• 3-2-3．微細構造
• 3-3．プラスチック基板上へのＩＴＯ膜の形成
• 4．まとめ

• ［３］ ＩＴＯ透明導電膜のプラスチック基板への付着力向上 ～ガラス基板との比較～

• ★基材との接着性向上に向けた表面加工法・表面加工剤の選択法を伝授！！
• 1．プラスチック基板とガラス基板
• 2．ガラス基板洗浄
• 3．プラスチックフィルムの真空中での挙動
• 3-1．水分の放出
• 3-2．オリゴマーの発生
• 4．プラスチック基板への膜付着力を向上させる工夫
• 4-1．アンダーコーティング（中間層）
• 4-2．物理的表面改質
• 4-2-1．光
• 4-2-2．電子ビーム，イオンビーム
• 4-2-3．プラズマ処理
• 4-2-4．化学的修飾
• 5．ＩＴＯ透明導電膜の接着性向上

• ［４］ 透明導電膜用エッチング液の特性

• ★加工する材料に応じて求められるエッチング液の特性の違いとは？
• 1．はじめに
• 2．ＩＴＯ膜エッチング液の種類
• 3．非晶質ＩＴＯ膜エッチング液の特性
• 4．まとめ
• (1)エッチングレートの制御
• (2)サイドエッチング（アンダーカット）の低減
• (3)処理後のパターン形状（エッチングプロファイル）
• (4)処理後の残渣除去性
• (5)被エッチング材の表面状態
• (6)他材料との選択性
• 5．おわりに

• 第３節　ＩＴＯナノ粒子

• ［１］ 塗布型透明導電膜における材料設計とその応用技術

• ★透明性と導電性を両立させるための
• 一次粒子径の制御・表面設計・粒子構造制御のポイントとは？
• 1．はじめに
• 2．透明導電膜の設計
• 2-1．ナノコンポジット型導電性塗料
• 2-2．ナノ導電粒子設計
• 2-3．バインダー設計
• 2-4．塗料設計とその応用例
• 3．透明導電膜の高機能化
• 4．今後の展開

• ［２］ ＩＴＯナノ粒子ペーストによる透明導電膜形成

• ★スクリーン印刷に対応するＩＴＯナノ粒子ペーストの最適調整！！
• 1．はじめに
• 2．ＩＴＯナノ粒子の特長
• 3．ＩＴＯナノ粒子ペーストによる透明電極の形成
• 3-1．ＩＴＯナノ粒子ペーストの調製
• 3-2．ＩＴＯナノ粒子ペーストによる透明導電膜の形成
• 3-3．ＩＴＯナノ粒子ペーストおよびその焼成条件の最適化
• 3-4．微細配線パターンの作製
• 4．まとめ
• (1)粒子径制御可能なＩＴＯナノ粒子の低コスト・大量合成の実現
• (2)有機被覆ＩＴＯナノ粒子による高性能スクリーン印刷用ペーストの調製
• (3)クラックの発生がない緻密で平滑な透明導電膜
• (4)大気雰囲気下焼成で比抵抗2．9×10-3Ωcm、透過率99%、HAZE値2%を実現
• (5)スクリーン印刷による微細なパターン形成が可能

• ［３］ スパッタ法に替わる塗布法ＩＴＯナノインクの実用化の意義

• ★求められる低抵抗化・高透過率・低ヘイズを実現するには？
• 1．はじめに
• 2．スパッタ法と塗布法
• 3．ＩＴＯナノインク調製
• 4．ＩＴＯナノ粒子合成
• 5．今後の展望

第２章 ＩＴＯ代替透明導電膜の材料設計と高機能化のポイント

• 第１節　酸化亜鉛・マグネシウム

• ［１］ スパッタ成膜ＺｎＯ系透明導電膜の特性向上技術

• ★ＺｎＯ透明導電膜の耐湿性・耐熱性を向上させるには？
• 1．はじめに
• 2．得られる膜特性とその改善技術
• 2-1．成膜方式及び使用する成膜装置依存性
• 2-2．ターゲットの最適化
• 2-3．バッファー層挿入効果
• 3．電気的特性の安定性とその改善技術
• 3-1．電気的特性の膜厚依存性
• 3-2．耐湿安定性
• 3-3．耐熱安定性
• 4．おわりに

• ［２］ 低コストに向けたＺｎＯ透明導電膜の塗布法による成膜技術

• ★吹き付けるだけで、室温・大気圧下で薄膜を形成できる新技術とは？
• 1．透明導電膜の現状
• 2．透明導電膜の物性
• 3．スプレー法によるＺｎＯ膜の作製
• 3-1．不純物効果
• 3-2．Ｇａ濃度変化
• 3-3．Ｉｎ濃度変化
• 3-4．熱処理効果
• 4．低温成長

• ［３］ 新規Ｍｇ透明導電材料の設計と評価

• ★「原子的複合化」を実現させる材料設計のポイントを伝授！！
• 1．はじめに
• 2．材料設計手法とその結果

• 第２節 導電性高分子

• ［１］ 導電性高分子の導電性向上と可溶化のポイント

• ★難加工性克服へ向けた各種溶剤への可溶化・溶融化のポイントとは？
• 1．液晶基を有するＥＤＯＴ誘導体の化学重合および電解重合
• 2．キラル基を有する共重合体の合成とエレクトロクロミック特性
• 3．まとめ

• ［２］ 導電材料の薄膜化技術と導電性フィルムの開発

• ★導電性高分子の複合化とフィルム／シート化技術！！
• 1．導電性高分子の複合化技術
• 2．導電性高分子複合化技術の開発
• 2-1．水溶性導電性高分子（ＰＡＳ)について
• 2-2．ＰＡＳ／高分子バインダー複合体及びそのＰＥＴ積層体（導電性ＰＥＴフィルム）の作製
• 2-2-1．コート法
• 2-2-2．ＰＡＳ複合材積層導電性フィルム
• 2-3．ＰＡＳ／ＰＥｓ複合体の諸特性
• 2-3-1．表面特性
• 2-3-2．導電特性
• (1)耐熱性 　(2)耐水性 　(3)耐延伸性 　(4)耐アンモニア性
• 2-4．ＰＡＳ／ＰＥｓ複合体の導電機構
• 2-5．応用製品
• 3．おわりに

• ［３］ 高導電性と高透明性を両立させた有機薄膜

• ★トレードオフの関係にある高透明性と高導電性を両立するには？
• 1．導電性高分子
• 2．ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ「一次粒子単層膜」
• 3．高導電性と高透明性の両立
• 4．おわりに

• ［４］ ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳのフィルム・コーティング剤への応用

• ★ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを用いた高分子膜の透明性・導電性向上技術！！
• 1．透明導電膜の現状
• 1-1．ＩＴＯを取り巻く現状
• 1-2．透明導電性材料
• 1-3．ＩＴＯフィルムと導電性ポリマーの比較
• 1-3-1．成膜
• 1-3-2．特性
• 1-4．π共役系導電性ポリマー
• 2．ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ
• 2-1．ポリチオフェン系導電性ポリマー（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）の特性
• 2-2．ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの導電性の向上
• 3．透明電極用デナトロン
• 3-1．代表グレードの特徴
• 3-2．基材適応性
• 4．パターニング
• 4-1．リフトオフ法を応用した方法
• 4-2．感光性デナトロン
• 4-3．スクリーンペースト
• 4-4．まとめ
• 5．おわりに

• ［５］ 溶剤可溶型高導電性ポリマーの透明導電膜への応用

• ★表面抵抗値の経時安定性の高い透明導電性フィルムを作製するには？
• 1．溶剤可溶型高導電性ポリアニリンの概要
• 1-1．ポリアニリンの構造
• 2．ポリアニリンの電導度と構造変化
• 2-1．ポリアニリンの構造変化と電導度のコントロール
• 2-2．ポリアニリンフィルムの電導度の温度依存性
• 2-3．ポリアニリンフィルムの引張試験による構造変化と表面抵抗値の変化
• 3．まとめ

• ［６］ 導電性ポリマーを用いた透明導電性フィルムの耐久性向上

• ★導電性・光学特性・耐環境性を向上させるには？
• 1．透明導電フィルム
• 1-1．透明電電フィルムとは
• 1-2．ＩＴＯフィルム
• 1-3．ＩＴＯ代替材料の開発
• 2．導電性高分子について
• 2-1．これまでの導電性高分子の開発
• 2-2．導電性高分子の実用化
• 3．新規導電フィルムCurrentFineRの特性
• 3-1．フィルム構成
• 3-2．CurrentFineRの光学特性
• 3-3．柔軟性
• 3-4．面内抵抗均一性
• 3-5．耐環境性
• 3-6．その他の特徴
• 4．まとめ

• ［７］ 腐食反応により創製されるフレキシブル透明導電材料

• ★金属化合物／導電性ポリマーナノコンポジット作製法を詳説！！
• 1．ポリピロール／金属化合物ナノコンポジット
• 2．ポリカルバゾール／アルミニウム化合物ナノコンポジット
• 3．ポリカルバゾール／スズ化合物及びガリウム化合物ナノコンポジット
• 3-1．ナノコンポジット膜の透明度、形態、及び組成
• 3-2．電気化学用電極としての利用
• 3-3．電気伝導度
• 4．ナノコンポジットインク

• ［８］ 導電性ポリマーの現状とフィルム・シートへのコーティング技術

• ★導電性ポリマーを均一に連続的にコーティングするには？
• 1．開発の取り組みについて
• 1-1．導電性ポリマーの現状と課題
• 1-1-1．導電性ポリマーについて
• 1-1-2．導電性ポリマーの利点
• 1-1-3．導電性ポリマーの課題
• 1-1-4．当社の製品開発に当っての課題
• 2．ＰＥＦシートへの導電膜の形成
• 2-1．帯電防止ＰＥＦ（ＮＡＳ－ＰＥＦ）開発の目標
• 2-2．導電性ポリマー塗工液の検討
• 2-3．ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ塗工液の特徴とイメージ
• 2-4．ＰＥＦへの導電性ポリマーコーティング
• 2-5．帯電防止ＰＥＦ（ＮＡＳ－ＰＥＦ）の特性について
• 2-5-1．帯電防止ＰＥＦの表面状態観察
• 2-5-2．コート表面からの転写について
• 2-5-3．表面抵抗値と印加帯電圧の全減衰について
• 2-5-4．導電性ポリマー層の温湿度の影響について
• 2-5-5．導電性ポリマー層の耐溶剤性、耐薬品性について
• 2-5-6．導電性ポリマー層の延伸挙動への追随性について
• 3．ＰＥＴフィルムへの導電膜の形成
• 3-1．帯電防止ＰＥＴフィルム（ＮＡＳ－ＰＥＴ）開発の目標
• 3-2．導電性ポリマー塗工液の検討
• 3-3．グラビアコーター生産機でのコーティング
• 3-4．帯電防止ＰＥＴフィルム（ＮＡＳ－ＰＥＴ）の特性について
• 3-4-1．帯電防止ＰＥＴフィルム（ＮＡＳ－ＰＥＴ）の表面状態について
• 3-4-2．帯電防止ＰＥＴフィルム（ＮＡＳ－ＰＥＴ）の品質について
• 4．今後の取り組みについて
• 4-1．ベース素材の多様化
• 4-2．高導電領域への挑戦

• 第３節　金属ナノ粒子・ワイヤー

• ［１］ 銀塩写真技術応用による透明導電膜の高導電性・高透過率の実現

• ★折り曲げても抵抗値が変化しにくい、高耐久のフレキシブル性を実現するには？
• 1．序
• 2．エクスクリアの開発
• 2-1．フレキシブル透明導電膜へ
• 2-2．白黒銀塩写真の原理とシールドレックス開発
• 2-3．透明導電膜への展開
• 3．エクスクリアの性能と特長
• 3-1．ニュートラルなグレーの色調
• 3-2．ごく低抵抗から高抵抗まで自在に設計できる表面抵抗値
• 3-3．８０％以上の高い全光透過率
• 3-4．ＲｏｌｌｔｏＲｏｌｌプロセスでの生産可能
• 3-5．レーザー露光により細線パターンが自在に描画可能
• 3-6．高い可撓性（折り曲げ性）を実現
• 4．今後の展開可能性について
• ・無機＆有機ＥＬ電極
• ・タッチパネル
• ・電子ペーパー
• ・太陽電池
• ・透明ヒーター
• 5．最後に

• ［２］ 交互吸着法による多層膜形成と透明導電フィルムへの応用

• ★分子オーダーからマイクロオーダーの機能性多層膜を形成！！
• 1．交互吸着法による薄膜形成
• 1-1．交互吸着法の特徴
• 1-2．薄膜の膜厚と構造制御
• 2．交互吸着法による導電性薄膜の形成
• 2-1．導電性高分子による多層膜の作製
• 2-2．導電性フィルムの耐久性
• 2-3．連続製膜
• 2-3-1．ＲｏｌｌｔｏＲｏｌｌ方式による導電性フィルム
• 2-3-2．スプレー法による導電性薄膜の作製
• 3．おわりに

• ［３］ ナノ粒子を使用した透明帯電防止コーティング

• ★今までにない機能を生み出すための材料選定とコーティング技術とは？
• 1．透明帯電防止コーティング製品の概要
• 2．塗膜の電気的・光学的特性と導電性ネットワークの形成
• 3．塗膜表面における導電性ネットワークの形成
• 4．おわりに

• ［４］ 導電性銀ナノインク、カーボンナノチューブインクの透明フィルムへの展開

• ★プリンテッド・エレクトロニクスに対応する導電性ナノインクの実力とは？
• 1．導電性ナノ粒子インクとは
• 1-1．金属ナノ粒子インク
• 1-2．カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）インク
• 2．バイエルマテリアルサイエンスＡＧの導電性ナノ粒子インクについて
• 2-1．導電性銀ナノインク
• 2-2．導電性カーボンナノチューブインク
• 3．透明フィルムやガラスへの展開

• 第４節　カーボンナノチューブ・グラフェン

• ［１］ ＣＮＴを用いた透明導電膜の作製と技術課題

• ★分散のポイントは？　実用レベルでの透明性と導電性を両立するには？
• 1．ＣＮＴ透明導電膜の作製
• 1-1．ＣＮＴの選択
• 1-2．ＣＮＴ分散液の調製
• 1-3．ＣＮＴナノネット膜の作製
• 1-4．高耐久性ＣＮＴ透明導電膜の作製と物性評価
• 2．高透明・高導電性への一考察
• 2-1．ＳＷＮＴの見直し
• 2-2．分散とナノネット膜の見直し
• 2-3．化学ドーピング技術の開発
• 3．おわりに

• ［２］ グラフェンの可溶化技術と透明導電膜への応用

• ★革新的な性能を透明導電膜に付与するグラフェンの可能性！！
• 1．グラフェンの透明導電膜への応用
• 2．化学的手法を用いたグラファイト単結晶の単層剥離・可溶化とグラフェン薄膜作製
• 2-1．グラファイトの酸化と溶液中単層剥離
• 2-2．酸化グラフェン薄膜の塗布形成
• 2-3．酸化グラフェン薄膜の還元
• 2-4．酸化処理を行わないグラファイト単層剥離手法
• 2-5．真空中加熱における酸化グラフェン，グラフェン薄膜の導電性変化
• 3．グラフェン透明電極の応用例
• 3-1．グラフェン透明電極を用いた有機薄膜太陽電池
• 3-2．グラフェン透明ゲート電極を用いた有機薄膜電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）
• 4．おわりに

第３章　透明導電膜のデバイス応用とその要求特性

• 第１節　タッチパネル

• ［１］ タッチパネル用ＩＴＯフィルムの技術動向

• ★タッチパネルの構成と各種方式別による透明導電膜の要求特性とは？
• 1．はじめに
• 2．タッチパネル用ＩＴＯフィルムの導電特性
• 2-1．抵抗膜式タッチパネルの導電特性
• 2-2．静電容量式タッチパネルの導電特性
• 2-3．周辺回路材料
• 3．光学的諸特性
• 3-1．透過率
• 3-2．表面の反射防止
• 3-3．干渉縞の抑制方法
• 3-4．ギラツキ防止
• 3-5．狭額縁・筆記耐久
• 3-6．基板
• 3-7．他表面保護材料
• 4．静電容量式タッチパネルのその他材料
• 5．まとめ

• ［２］ タッチパネルへの透明導電膜の応用

• ★欠損を生じやすい透明導電膜に求められる打鍵性をクリアにするには？
• 1．概要
• 2．抵抗膜方式透明タッチパネルの構成，動作原理
• 2-1．構成
• 2-2．動作原理
• 3．アナログ抵抗膜方式タッチパネルにおける透明導電膜の役割
• 4．アナログ抵抗膜式タッチパネルにおける要求特性と現状
• 4-1．光学特性（光線透過率・反射率）
• 4-2．抵抗値
• 4-3．抵抗値均一性（直線性）
• 4-4．耐久性
• 4-5．耐環境特性
• 5．まとめと今後の動向

• ［３］ 静電容量式タッチパネルの最新技術

• ★マルチタッチ化に対応する透明導電膜とパターニング手法とは？
• 1．静電容量式タッチパネルの分類
• 1-1．静電タッチセンサに於ける静電容量式タッチパネル
• 1-2．静電容量式タッチパネルの二大方式
• 2．静電容量式タッチパネルの構造と検出原理概要
• 2-1．Surface Capacitive Touch Panel概要
• 2-2．Projected Capacitive Touch Panel概要
• 2-3．Projected Capacitive Touch Panelのパネル構成
• 2-3-1．「iPhone」のタッチパネル
• 2-3-2．他のＩＴＯエッチング方式タッチパネル
• 3．静電容量式タッチパネル「Inner Capacitive Touch Panel」
• 3-1．静電容量式タッチパネル開発の背景
• 3-2．新静電容量式タッチパネルについて
• 4．静電容量式タッチパネルの将来の動向
• 5．おわりに

• ［４］ ガラス／ガラスタッチパネルの特徴と特性

• ★ニュートンリングを防ぐ加工技術！ 座標検出軸を正確に出す均一膜とは?
• 1．ミクロ技術研究所の事業の背景
• 2．ガラスを基材としたタッチパネル
• 2-1．なぜガラスタッチパネルにこだわるのか
• 2-2．ガラスタッチパネルの利点と欠点
• 2-2-1．ガラスを採用するメリットについて
• (1)透明電極膜はガラスの上でよく安定する
• (2)モース硬度・ピッカーズ硬度が高く、キズがつきにくい
• (3)熱・湿度に強く、寸法安定性がよい
• (4)ガラス上の高精細パターンエッチングが可能である
• 2-2-2．ガラスを採用するデメリットについて
• (1)割れる
• (2)曲がらない
• (3)重い
• (4)枚葉生産しか出来ない
• 3．アナログ抵抗膜式タッチパネル
• 3-1．アナログ抵抗膜方式の構造
• 3-2．ミクロ技術研究所の抵抗膜式タッチパネルの特徴
• 3-2-1．構造比較
• 3-2-2．ガラス抵抗膜式タッチパネルの透明電極膜について
• 3-2-3．ガラス抵抗膜式タッチパネルのガラス選定について
• 3-3．サイズ・用途別
• 3-3-1．モバイル用途
• 3-3-2．カーナビゲーション用途
• 3-3-3．ＰＣ用途
• 4．デジタル静電容量方式タッチパネル
• 4-1．デジタル方式静電容量タッチパネルの構造
• 4-1-1．２電極貼り合わせ方式
• 4-1-2．片面電極積層方式
• 5．デザインタッチパネルについて
• 6．おわりに

• 第２節　太陽電池

• ［１］ 太陽電池高性能化に向けた透明導電膜の役割

• ★各種太陽電池の透明電極として必要な特性の基準・評価手法を探る！！
• 1．はじめに
• 2．太陽電池材料と光吸収特性
• 3．発生したキャリアの収集と取り出し
• 4．薄膜シリコン系太陽電池
• 5．結晶シリコン系太陽電池
• 6．化合物薄膜系太陽電池
• 7．色素増感系太陽電池
• 8．有機半導体太陽電池
• 9．その他
• 10．まとめ

• ［２］ 薄膜Ｓｉ太陽電池用透明導電膜ガラス基板

• ★ガラス基材の面から見た太陽電池用透明導電材料への要求特性は？
• 1．太陽電池への期待と市場の可能性
• 2．Ｓｉ系薄膜太陽電池の構造とガラス基板に要求される特性
• 3．透明導電膜の現状
• 3-1．透明導電膜の光学特性
• 3-2．電子の散乱機構と移動度の向上
• 3-2-1．ＳｎＯ２：Ｆ
• 3-2-2．ＺｎＯ系透明導電膜
• 4．おわりに

• ［３］ ＣＩＳ系薄膜太陽電池における透明導電膜への要求特性

• ★透明電極層の光学的透過率と電気抵抗率の両立を図る最適化設計！！
• 1．はじめに
• 2．変換効率向上のためにｎ型ＺｎＯ窓層に対する要求
• 2-1．ＣＩＳ系光吸収層のバンドギャップ構造への最適化
• 2-2．ｎ型高抵抗バッファ層材料に対する最適化
• 2-3．インターコネクト部を有する集積型構造での最適化
• 2-4．製膜法の量産性の検証
• 3．まとめ

• ［４］ 酸化亜鉛透明導電膜を用いた有機薄膜太陽電池の特性

• ★有機薄膜太陽電池の透明導電膜にはどの材料が適しているのか？
• 1．ＧＺＯ電極とＩＴＯ電極を用いた有機薄膜太陽電池の特性比較
• 1-1．ＧＺＯとＩＴＯを陰極に用いた場合
• 1-2．経時変化の雰囲気依存性
• 1-3．ＧＺＯとＩＴＯを陽極に用いた場合
• 2．上部電極にＣｕを用いた場合　―　大気中放置による特性の大幅な向上
• 2-1．ヘテロ接合型太陽電池の特性
• 2-2．ショットキー障壁型太陽電池の特性　―　経時変化の機構
• 2-3．ヘテロ接合型太陽電池の経時変化の機構
• 3．おわりに

• ［５］ 有機・色素増感太陽電池に向けた透明導電基板と低コスト化

• ★太陽電池特有の熱や化学反応の影響を受けても平気な透明電極材とは？
• 1．有機系太陽電池の普及の鍵となる透明導電基板
• 2．透明導電基板に求められる特性
• 2-1．光線透過率
• 2-2．シート抵抗
• 2-3．耐熱・耐化学安定性
• 3．透明導電膜の種類
• 4．マイクログリッド型透明導電基板
• 5．色素増感太陽電池の電極基板開発
• 6．プラスチック色素増感太陽電池とモジュール
• 7．電極基板の劣化とセル耐久性向上
• 8．おわりに

第４章　透明導電膜・フィルム・材料の評価技術

• 第１節　タッチパネルの採用における透明導電膜の評価ポイント

• ★干渉縞やニュートンリングと電極材の張り合わせの影響を克服するには？
• 筆記の書き味、入力感、視認性、耐久性を中心とした評価法のポイントを伝授！！
• 1．抵抗膜感圧式タッチパネルの概略構造
• 2．３つの視点から見た問題点の分析
• 2-1．利用者の視点
• 2-1-1．入力感
• (1)視差
• (2)入力の奇跡
• (3)筆記の書き味
• (4)データ検出
• 2-1-2．視認性
• (1)透過率，反射率，色相の変化
• (2)干渉縞
• (3)ギラツキ
• (4)スペーサが目立つ
• 2-2．基本性能の視点
• 2-2-1．重量
• (1)ガラスの仕様
• 2-2-2．割れ
• (1)ガラスの仕様
• (2)タッチパネルの取り付け
• 2-2-3．出力異常
• (1)耐久性
• (2)導電性異物の混入
• (3)配線接合部の信頼性
• (4)面抵抗値と周辺抵抗値の比
• (5)工程でのストレス，断線
• (6)工程でのレジストインク残り
• (7)タッチパネルの取り付け方法
• (8)ＦＰＣ抜き差しの接点不良
• (9)ＦＰＣの抜きずれ
• (10)イオンマイグレーション
• (11)ノイズ
• (12)制御側とのマッチング
• 2-2-4．外観不良
• (1)フィルムの撓み
• (2)干渉縞
• (3)傷
• (4)保護フィルムの糊残り
• (5)貼り合わせ材のはみ出し
• 2-3．市場性の視点
• 2-3-1．市場
• (1)供給性
• (2)価格

• 第２節　透明導電性材料における用途別評価技術と材料への要求特性

• ★抵抗膜式タッチパネルの入力精度を高めるため、膜均一性をどう評価する？
• 　静電容量方式タッチパネルの導電線間の絶縁抵抗の確認と抵抗値測定手法は？
• 　導電材の実地的な電気評価の測定技術は？　用途別に探る！！
• 1．透明導電性材料
• 2．ＩＴＯの使用状況と問題点
• 3．導電膜の製膜方法
• 3-1．真空蒸着法
• 3-2．イオンプレーティング法
• 3-3．スパッタリング法
• 4．静電容量型タッチパネル(Projective)用材料
• 4-1．パターニング材料
• 5．タッチパネル用途で求められる特性
• 5-1．電気特性評価
• 5-1-1．電気特性とは
• 5-1-2．タッチパネル評価機
• 5-2．摺動筆記試験
• 5-2-1．摺動筆記試験とは
• 5-2-2．タッチパネル摺動・電気特性評価機
• 5-3．打鍵試験・ＯＮ荷重測定
• 5-3-1．打鍵試験とは
• 5-3-2．ＯＮ荷重測定とは
• 5-3-3．打鍵試験／ＯＮ荷重測定機
• 5-4．その他の当社評価機の紹介
• 5-4-1．超高速電気特性試験機
• 5-4-2．ランダム打鍵試験機
• 5-4-3．超高荷重打鍵試験／ＯＮ荷重測定機
• 5-5．静電容量タッチパネルの電気特性
• 6．おわりに

第５章 　透明導電材の現状・課題と今後の展開

• ★各材料の課題を克服するための要点をピックアップ！！
• 用途⇒タッチパネル、太陽電池、有機ＥＬ照明、電子ペーパーなど幅広く！！
• ＩＴＯ⇒フレキシブル性付与、干渉縞の抑制方法、ギラツキ防止への対応は？
• ＩＴＯ代替⇒導電性高分子、無機酸化物系、ナノ粒子・ワイヤー、ＣＮＴ、、、
• 実用レベルでの高透明・低抵抗・高耐久化への技術要素！！
• 1．序論
• 2．種々の透明導電材料
• 3．用途とＩＴＯ膜質
• 3-1．ＬＣＤ用
• 3-2．カラーフィルター(ＣＦ)
• 3-3．有機ELディスプレイ(ＯＬＥＤ)
• 3-4．ＰＤＰ用
• 3-5．タッチパネル
• 3-6．電子ペーパー
• 3-7．太陽電池用透明導電膜
• 3-8．その他
• 4．ＩＴＯ代替の開発動向
• 4-1．ナノ粒子･ナノワイヤー
• 4-2．無機酸化物系
• 4-3．導電性高分子
• 4-4．ＣＮＴ(カーボンナノチューブ)　他